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压电直线纳米位移台ML-92A

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压电直线纳米位移台ML-92A

  • 所属分类:压电直线纳米位移台

  • 点击次数:
  • 发布日期:2021/01/21
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压电直线纳米位移台ML-92A 大行程直线位移台,不仅拥有紧凑的安装尺寸,同时还兼具低温真空等应用环境。

是小空间内大行程高精度的定位的优先选择产品。

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压电直线纳米位移台ML-92A尺寸参数
外形尺寸(长*宽*高)123*28*15.5mm
台面平面度10 μm
总重量190g
运动参数
行程±46mm
运动速度上限3mm/s
材料
机身铝合金/
驱动PZT压电陶瓷/
驱动机构铍青铜/
导线屏蔽线,铜线/
运动控制
闭环重复定位精度(20℃)20nm
闭环位置传感器分辨率2nm
开环运动分辨率0.05nm
负载
垂直运动方向负载20N
沿运动方向负载4N
操作环境
操作温度0~60
操作湿度温度达到40℃时,相对湿度95%。(非冷凝)/
是否适用真空
其它
控制类型开环/闭环/
驱动电压上限125V


本文网址:http://www.assns.cn/product/825.html

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