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压电旋转纳米位移台RF-5950A 可在-269℃的低温下进行开环使用。设备具备合适的安装尺寸。得益于更跟均衡的尺寸设计,设备具有更大的负载能力。
设备支持真空环境。并且支持定制化的开孔位置,满足不同的安装场景。压电陶瓷的驱动模块使用,使设备具有360°全行程的高精度定位及高分辨率。
压电旋转纳米位移台RF-5950A尺寸参数 | ||
外形尺寸 | 59.0*59.0*21.5 | mm |
台面平面度 | 10 | μm |
总重量 | 190 | g |
材料 | ||
机身 | 铝合金 | / |
驱动 | PZT压电陶瓷 | / |
驱动机构 | 铍青铜 | / |
导线 | 屏蔽线,铜线 | / |
粗调模式 | ||
行程 | 360°无限制 | ° |
回转直径 | 50 | mm |
运动步进 | 0.1~7.21 | m° |
速度上限 | 0.132 | rad/s |
细调模式 | ||
细调步进 | 0.16 | μ° |
细调范围 | 10.8 | m° |
闭环运动 | ||
重复定位精度 | 0.66 | m° |
分辨率 | 0.33 | m° |
负载 | ||
垂直运动方向负载 | 10 | N |
负载扭矩 | 160 | N/mm |
操作环境 | ||
闭环(开环)操作温度 | -20~80(-269~80) | ℃ |
是否适用真空 | 是 | / |
其它 | ||
控制类型 | 开环/闭环 | / |
运动分辨率 | 0.16 | μ° |
驱动电压上限 | 125 | V |