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| 尺寸参数 | ||
| 外形尺寸（长*宽*高） | 33.2*30*10.5 | mm |
| 台面平面度 | 10 | μm |
| 总重量 | 33 | g |
| 材料 | ||
| 机身 | 铝合金 | / |
| 驱动 | PZT压电陶瓷 | / |
| 驱动机构 | 铍青铜 | / |
| 导线 | 屏蔽线，铜线 | / |
| 粗调模式 | ||
| 运动范围 | ±10 | mm |
| 运动步进 | 50~2000 | nm |
| 速度上限 | 3 | mm/s |
| 细调模式 | ||
| 细调步进 | 0.05 | nm |
| 细调范围 | 3000 | nm |
| 闭环运动 | ||
| 重复定位精度 | 20 | nm |
| 绝对定位精度 | 200 | nm |
| 分辨率 | 20 | nm |
| 负载 | ||
| 垂直运动方向负载 | 20 | N |
| 沿运动方向负载 | 4 | N |
| 操作环境 | ||
| 操作温度 | -20~80 | ℃ |
| 是否适用真空 | 是 | / |
| 其它 | ||
| 控制类型 | 开环/闭环 | / |
| 运动分辨率 | 0.05 | nm |
| 驱动电压上限 | 125 | V |
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